JC/T 2372-2016 集成电路用石英舟

标准编号:JC/T 2372-2016      标准状态:现行

标准简介

本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。

本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品,包含立式石英舟及卧式石英舟。


  • 英文名称:Quartz boats for IC industry
  • 发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
  • 发布日期:2016-07-11
  • 实施日期:2017-01-01
  • 出版社:建材工业出版社
  • 页数:6页

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