GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
标准编号：GB/T 34178-2017 标准状态：现行
标准简介
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
- 英文名称：Silica glass substrates for photomask
- 发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
- 发布日期：2017-09-07
- 实施日期：2018-08-01
- 提出单位：中国建筑材料联合会
- 归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
- 起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
- 起草人：吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
- 页数：16页
声明：后台配置声明内容
