标准编号:JC/T 181-2011 标准状态:废止
标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件,包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
- 英文名称:Transparent quartz glass devices for semiconductor
- 替代情况:替代JC/T 181-1981 (1996)
- 发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
- 发布日期:2011-12-20
- 实施日期:2012-07-01
- 归口单位:全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
- 起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
- 出版社:建材工业出版社
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